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單晶硅石墨托盤(pán) -
單晶硅石墨托盤(pán)
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LED外延用石墨托盤(pán) 單晶硅石墨托盤(pán) 多晶硅石墨托盤(pán) SiC石墨盤(pán) 石墨托盤(pán)是一種用于LED外延晶圓制程的石墨承載盤(pán)，包括若干個(gè)設(shè)置在承載盤(pán)上方的晶圓凹槽，用于置放外延晶圓襯底，所述晶圓凹槽的內(nèi)側(cè)邊緣設(shè)置有一擋板結(jié)構(gòu)，且所述擋板與晶圓襯底成互補(bǔ)關(guān)系，二者以擋板、晶圓襯底的平邊為重合邊構(gòu)成大致圓形，所述擋板結(jié)構(gòu)能夠減少在外延生長(zhǎng)過(guò)程晶圓
LED外延用石墨托盤(pán) 單晶硅石墨托盤(pán) 多晶硅石墨托盤(pán) SiC石墨盤(pán)
石墨托盤(pán)是一種用于LED外延晶圓制程的石墨承載盤(pán)，包括若干個(gè)設(shè)置在承載盤(pán)上方的晶圓凹槽，用于置放外延晶圓襯底，所述晶圓凹槽的內(nèi)側(cè)邊緣設(shè)置有一擋板結(jié)構(gòu)，且所述擋板與晶圓襯底成互補(bǔ)關(guān)系，二者以擋板、晶圓襯底的平邊為重合邊構(gòu)成大致圓形，所述擋板結(jié)構(gòu)能夠減少在外延生長(zhǎng)過(guò)程晶圓凹槽中的晶圓襯底平邊空隙位置，保證晶圓襯底平邊溫度和氣流穩(wěn)定，從而提高外延晶圓襯底的邊緣良率。
上海弘竣實(shí)業(yè)有限公司生產(chǎn)的半導(dǎo)體外延片生長(zhǎng)的CVD石墨托盤(pán)采用德國(guó)進(jìn)口石墨,具有更好的穩(wěn)定性、更長(zhǎng)的使用壽命。還可根據(jù)客戶(hù)的要求定制。更好的為半導(dǎo)體廠商服務(wù)。
